サーボシステムパートナー 株式会社マグネスケール

フィードバックスケール
レーザスケール BL50Hシリーズ

特長

1. ●高分解能・高内挿精度・低ノイズ
   信号波長0.4μmを高内挿分割し0.001μm分解能を実現
2. ●高速応答性
   三菱電機シリアル通信により3,000mm/sにて制御可能
3. ●広い角度許容とクリアランス
   スケールとセンサ間距離3.4mm（ZEROガラス使用時）にて取付が容易
4. ●選べるスケール材質
   ZEROガラス（0.1×10^-6）無アルカリガラス（3.7×10^-6）

仕様

用途例

システム構成

三菱電機関連製品

インタフェース				パルス列 アナログ電圧
コントローラ	PLC CPU IPC	PLC CPU	PLC CPU	PLC CPU
	RD78G FX5-SSC-G SWM-G	RD77MS RnMTCPU QD77MS Q17nDSCPU FX5-SSC-S LD77MS MR-MC Q173SCCF	RD77GF QD77GF   MR-EMnGF
サーボアンプ	MR-J5-G	MR-J5-B MR-J4-B	MR-J4-GF	MR-J5-A MR-J4-A

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フィードバックスケール
マグネスケール SR67A/SR27Aシリーズ

特長

高剛性・耐環境性に優れた磁気式アブソリュートフィードバックスケール

1. ●磁気式では史上初の絶対位置検出（アブソリュート）スケール
2. ●5nmの高分解能
3. ●磁気式ならではの優れた耐久性、結露・油汚れに強い
4. ●鉄と同じ線膨張係数
5. ●高剛性のため、衝撃・振動に強い（SR67A）
6. ●中継アンプを介さず、サーボアンプにダイレクトで接続可能

耐結露・耐油性能

高分解能

仕様

品番	SR27A（スリムタイプ）	SR67A（高剛性タイプ）
最高分解能	5nm	5nm
精度（20℃）	（3＋3L/1,000）μmp-pまたは （5＋5L/1,000）μmp-p L=有効長	（3＋3L/1,000）μmp-pまたは （5＋5L/1,000）μmp-p L=有効長
有効長	70mm～2,040mm	140mm～3,640mm
最大応答速度	200m/min	200m/min
線膨張係数	（12±1）×10-6/℃	（12±1）×10-6/℃
耐振動	150m/s2（50Hz～3,000Hz）	250m/s2（50Hz～2,000Hz）
耐衝撃	350m/s2（11ms）	450m/s2（11ms）
出力方式	アブソリュート	アブソリュート

用途例

産業機器

1. ●リニアモーター
2. ●XYステージ
3. ●実装機
4. ●3Dプリンタ
5. ●インクジェットプリンタ
6. ●プローバー
7. ●ボンダー
8. ●組立装置など

システム構成

三菱電機関連製品

インタフェース				パルス列 アナログ電圧
コントローラ	PLC CPU IPC	PLC CPU	PLC CPU	PLC CPU
	RD78G FX5-SSC-G SWM-G	RD77MS RnMTCPU QD77MS Q17nDSCPU FX5-SSC-S LD77MS MR-MC Q173SCCF	RD77GF QD77GF   MR-EMnGF
サーボアンプ	MR-J5-G	MR-J5-B MR-J4-B	MR-J4-GF	MR-J5-A MR-J4-A

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フィードバックスケール
デジルーラ SL710・PL101-RM/RHMシリーズ

特長

非接触型デジルーラ SL710・PL101-RM/RHMシリーズ

1. ●磁気検出方式
2. ●小型・リボン形状で、狭いスペースにも取付可能
3. ●ヘッドとスケールユニットは非接触型
4. ●耐環境性良好：汚れ・油等に強く、また振動・衝撃に対しても強靭
5. ●有効長50mm～100,000mmのラインナップ

スケール：SL710

検出ヘッドケーブルユニット：PL101-RM/RHM

仕様

用途例

金属・木材・石材加工機械からマテハン・繊維・印刷機まで、広くご使用いただけます。

システム構成

三菱電機関連製品

インタフェース				パルス列 アナログ電圧
コントローラ	PLC CPU IPC	PLC CPU	PLC CPU	PLC CPU
	RD78G FX5-SSC-G SWM-G	RD77MS RnMTCPU QD77MS Q17nDSCPU FX5-SSC-S LD77MS MR-MC Q173SCCF	RD77GF QD77GF   MR-EMnGF
サーボアンプ	MR-J5-G	MR-J5-B MR-J4-B	MR-J4-GF	MR-J5-A MR-J4-A

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フィードバックスケール
次世代マグネスケール SmartSCALEシリーズ

特長

過酷な環境でさらに強く、エアパージ不要の高精度・高分解能 SmartSCALE

“5nm×IP67”

耐環境性能の向上と5nmの高分解能を達成した、直線磁気スケールの新シリーズ「SmartSCALE」。
超高精度加工を実現する高分解能「5nm」と、結露や油・冷却水が伴う悪環境において、常に安定した位置検出を可能にする耐環境性「IP67」を両立する、新常識のスケール。

1. ●クラス最高の5nmの分解能

仕様

品番	SQ47 / SQ57
最高分解能	5nm
精度（20℃）	±（1.5＋1.5L/1,000）μm　L＝有効長
有効長	70mm～3,770mm
最大応答速度	200m/min
保護等級	IP67
線膨張係数	（12±1）×10-6/℃
出力方式	アブソリュート
耐振動	250m/s2（50Hz～2,000Hz）
耐衝撃	980m/s2（11ms）

用途例

産業機器

1. ●リニアモーター
2. ●XYステージ
3. ●実装機
4. ●3Dプリンタ
5. ●インクジェットプリンタ
6. ●プローバー
7. ●ボンダー
8. ●組立装置など

システム構成

三菱電機関連製品

インタフェース				パルス列 アナログ電圧
コントローラ	PLC CPU IPC	PLC CPU	PLC CPU	PLC CPU
	RD78G FX5-SSC-G SWM-G	RD77MS RnMTCPU QD77MS Q17nDSCPU FX5-SSC-S LD77MS MR-MC Q173SCCF	RD77GF QD77GF   MR-EMnGF
サーボアンプ	MR-J5-G	MR-J5-B MR-J4-B	MR-J4-GF	MR-J5-A MR-J4-A

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