サーボシステムパートナー ニデックマシンツール株式会社

精密位置検出器
MPスケール   MP SCALE 

特長

過酷な環境に強い高速・高精度スケール

MPスケールは、光学式・磁気式とは異なる、電磁結合を利用した非接触で長さや角度の変位を高精度に検出する超高精度位置検出器です。

超精密位置検出素子＜MPスケール＞

リニアタイプ（直線位置検出器）

ロータリタイプ（回転角度検出器）

A/D変換器

1. ●高精度
   • リニアMPスケール     Linear ： 2μm (保証値・MPS-25CSC)
   • ロータリMPスケール  Rotary ： 2秒 2sec (保証値・MPI-1272B)
   • *すべての精度は幅で表示しています。
2. ●高分解能・高速

*値は代表値です。

1. ●直接検出
   • 検出したい位置にスケールを取り付けることで、フルクローズド制御が可能です。
2. ●高耐環境性　　ゴミ・油・結露に強い
   • 電磁誘導式検出であるため、隙間への油汚れ・ほこり・結露の影響を受けません。エアーパージも不要です。
3. ●省スペース　　機械をコンパクトにできる
   • スケールの厚さは14～20mmと薄く、機械をコンパクトに出来ます。
   • ロータリスケールは中空構造で、配線や配管を通過させることが出来ます。

1. ●非接触　　摩擦部がなく長期安定した精度
   • MPスケールは経年変化の要因となる消耗品のベアリングやバネのない完全非接触構造です。
2. ●絶対値検出　　原点復帰不要
   • 絶対値検出モデルでは、電源投入時や瞬停時に、原点復帰する必要がありません。

1. ●各種I/F対応出力
   • Ａ/Ｂ相出力やアナログ出力、シリアル出力に対応しています。
2. ●高い繰返し精度
   • ロータリスケールでは、機械の回転方向やワークの荷重で軸が変形して芯ズレが発生しても、芯ズレが読取誤差になりにくく、高い繰返し精度が得られます。
3. ●鉄と同じ膨張率　　高精度位置決め・加工が可能
   • 周囲温度が上昇すれば機械は膨張します。そのため機械の膨張係数と異なるガラスを素材に使用したスケールでは、温度変化の大きい場所ではスケールの指示する位置と、実際の機械の位置の乖離が大きくなります。MPスケールは機械と同じ素材（鉄）であるため、その時の機械膨張に倣った膨張・収縮をするため、温度の影響を少なく抑えられます。

用途例

ダイレクトドライブ（DD）モータ

回転テーブル

液晶やPDP用製造装置の
大形精密位置決めテーブル

ロータ	：回転部
ステータ	：回転部

システム構成

三菱電機関連製品

インタフェース				パルス列 アナログ電圧
コントローラ	PLC CPU IPC	PLC CPU	PLC CPU	PLC CPU
	RD78G FX5-SSC-G SWM-G	RD77MS RnMTCPU QD77MS Q17nDSCPU FX5-SSC-S LD77MS MR-MC Q173SCCF	RD77GF QD77GF   MR-EMnGF
サーボアンプ	MR-J5-G	MR-J5-B MR-J4-B （特殊）	MR-J4-GF	MR-J5-A MR-J4-A （特殊）

お問い合わせ

精密位置検出器
産業用リニアスケール MPFAシリーズ

特長

0.1μm分解能で1,800m/min検出が可能

1コンパクト

スケールの厚さは、0.4mm（両面テープ含む）

2優れた環境性

電磁結合式なので、ゴミ、油、結露などは影響なし

3高分解能

0.1μm

4診断ツール

取付時の確認、動作確認をサポートするツールをご用意

項目	インクリメンタル	アブソリュート
最大スケール長	10,000mm	8,000mm
最大測定長	9,950mm	7,946mm
分解能	0.1μm	0.1μm
精度	直線性±15μm
他	マルチヘッド対応

インクリメンタル

アブソリュート

用途例

【外観】

【取付例】

ＦＡ用スケールを位置フィードバックにリニアモータ駆動

【診断画面】

パソコン接続で表示

三菱電機関連製品

インタフェース				パルス列 アナログ電圧
コントローラ	PLC CPU IPC	PLC CPU	PLC CPU	PLC CPU
	RD78G FX5-SSC-G SWM-G	RD77MS RnMTCPU QD77MS Q17nDSCPU FX5-SSC-S LD77MS MR-MC Q173SCCF	RD77GF QD77GF   MR-EMnGF
サーボアンプ	MR-J5-G	MR-J5-B MR-J4-B （特殊）	MR-J4-GF	MR-J5-A MR-J4-A （特殊）

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